卤素检漏仪的卤素检漏仪工作原理-酷答问

卤素检漏仪的卤素检漏仪工作原理

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卤素检漏仪的卤素检漏仪工作原理

卤素检漏仪是指用含有卤素(氟、氯、溴、碘)气体作为示漏气体的检漏仪器。该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂属最好。灵敏度可达3.2×lO-9Pa·m3/s。